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Dissertação (Mestrado)
Desenvolvimento de microssensores MEMS, visando implantação in vivo para o estudo da fadiga muscular. (2022)
Sanches, Kaique Figueiredo; Páez Carreño, Marcelo Nelson (Orientador)
Unidade: EP
Subjects: SISTEMAS MICROELETROMECÂNICOS, SENSOR, SENSORES ELETROMECÂNICOS
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ABNT
SANCHES, Kaique Figueiredo. Desenvolvimento de microssensores MEMS, visando implantação in vivo para o estudo da fadiga muscular. 2022. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2022. Disponível em: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-27052022-091056/. Acesso em: 10 maio 2024.
APA
Sanches, K. F. (2022). Desenvolvimento de microssensores MEMS, visando implantação in vivo para o estudo da fadiga muscular. (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-27052022-091056/
NLM
Sanches KF. Desenvolvimento de microssensores MEMS, visando implantação in vivo para o estudo da fadiga muscular. [Internet]. 2022 ;[citado 2024 maio 10 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-27052022-091056/
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Sanches KF. Desenvolvimento de microssensores MEMS, visando implantação in vivo para o estudo da fadiga muscular. [Internet]. 2022 ;[citado 2024 maio 10 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-27052022-091056/
Tese (Doutorado)
Desenvolvimento de microaquecedores MEMS, para deposição de filmes finos, pela técnica LPCVD, em áreas micrométricas (2022)
Oliveira, Ricardo Aparecido Rodrigues de ; Páez Carreño, Marcelo Nelson (Orientador)
Unidade: EP
Subjects: FILMES FINOS, SISTEMAS MICROELETROMECÂNICOS
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ABNT
OLIVEIRA, Ricardo Aparecido Rodrigues de. Desenvolvimento de microaquecedores MEMS, para deposição de filmes finos, pela técnica LPCVD, em áreas micrométricas. 2022. Tese (Doutorado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2022. Disponível em: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-20072023-135552/. Acesso em: 10 maio 2024.
APA
Oliveira, R. A. R. de. (2022). Desenvolvimento de microaquecedores MEMS, para deposição de filmes finos, pela técnica LPCVD, em áreas micrométricas (Tese (Doutorado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-20072023-135552/
NLM
Oliveira RAR de. Desenvolvimento de microaquecedores MEMS, para deposição de filmes finos, pela técnica LPCVD, em áreas micrométricas [Internet]. 2022 ;[citado 2024 maio 10 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-20072023-135552/
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Oliveira RAR de. Desenvolvimento de microaquecedores MEMS, para deposição de filmes finos, pela técnica LPCVD, em áreas micrométricas [Internet]. 2022 ;[citado 2024 maio 10 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-20072023-135552/
Dissertação (Mestrado)
Matriz de Butler em interposer MnM para aplicações em ondas milimétricas (2021)
Verona, Bruno Marinaro; Rehder, Gustavo Pamplona (Orientador) ; Serrano, Ariana Maria da Conceição Lacorte Caniato (coorient)
Unidade: EP
Assunto: SISTEMAS MICROELETROMECÂNICOS
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ABNT
VERONA, Bruno Marinaro. Matriz de Butler em interposer MnM para aplicações em ondas milimétricas. 2021. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2021. Disponível em: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-31012022-123610/. Acesso em: 10 maio 2024.
APA
Verona, B. M. (2021). Matriz de Butler em interposer MnM para aplicações em ondas milimétricas (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-31012022-123610/
NLM
Verona BM. Matriz de Butler em interposer MnM para aplicações em ondas milimétricas [Internet]. 2021 ;[citado 2024 maio 10 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-31012022-123610/
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Verona BM. Matriz de Butler em interposer MnM para aplicações em ondas milimétricas [Internet]. 2021 ;[citado 2024 maio 10 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-31012022-123610/
Tese (Livre Docência)
RF MEMS em ondas milimétricas. (2020)
Rehder, Gustavo Pamplona
Unidade: EP
Assunto: SISTEMAS MICROELETROMECÂNICOS
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ABNT
REHDER, Gustavo Pamplona. RF MEMS em ondas milimétricas. 2020. Tese (Livre Docência) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2020. Disponível em: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/livredocencia/3/tde-29012021-095847/. Acesso em: 10 maio 2024.
APA
Rehder, G. P. (2020). RF MEMS em ondas milimétricas. (Tese (Livre Docência). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/livredocencia/3/tde-29012021-095847/
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Rehder GP. RF MEMS em ondas milimétricas. [Internet]. 2020 ;[citado 2024 maio 10 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/livredocencia/3/tde-29012021-095847/
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Rehder GP. RF MEMS em ondas milimétricas. [Internet]. 2020 ;[citado 2024 maio 10 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/livredocencia/3/tde-29012021-095847/
Tese (Doutorado)
Dispositivos micromecânicos para caracterização de materiais: instrumentação e análise térmica de polímeros (2018)
Alves, Gustavo Marcati Alexandrino; Mansano, Ronaldo Domingues (Orientador)
Unidade: EP
Subjects: SISTEMAS MICROELETROMECÂNICOS, MICROELETRÔNICA, BIOMATERIAIS, PROPRIEDADES DOS MATERIAIS
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ABNT
ALVES, Gustavo Marcati Alexandrino. Dispositivos micromecânicos para caracterização de materiais: instrumentação e análise térmica de polímeros. 2018. Tese (Doutorado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2018. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-01032019-103058/. Acesso em: 10 maio 2024.
APA
Alves, G. M. A. (2018). Dispositivos micromecânicos para caracterização de materiais: instrumentação e análise térmica de polímeros (Tese (Doutorado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-01032019-103058/
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Alves GMA. Dispositivos micromecânicos para caracterização de materiais: instrumentação e análise térmica de polímeros [Internet]. 2018 ;[citado 2024 maio 10 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-01032019-103058/
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Alves GMA. Dispositivos micromecânicos para caracterização de materiais: instrumentação e análise térmica de polímeros [Internet]. 2018 ;[citado 2024 maio 10 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-01032019-103058/
Dissertação (Mestrado)
Microválvulas destinadas ao controle do fluxo de líquidos em canais microfluídicos (2017)
Rosa, Reinaldo Lucas dos Santos; Seabra, Antonio Carlos (Orientador)
Unidade: EP
Assunto: SISTEMAS MICROELETROMECÂNICOS
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ROSA, Reinaldo Lucas dos Santos. Microválvulas destinadas ao controle do fluxo de líquidos em canais microfluídicos. 2017. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2017. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-27102017-075922/. Acesso em: 10 maio 2024.
APA
Rosa, R. L. dos S. (2017). Microválvulas destinadas ao controle do fluxo de líquidos em canais microfluídicos (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-27102017-075922/
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Rosa RL dos S. Microválvulas destinadas ao controle do fluxo de líquidos em canais microfluídicos [Internet]. 2017 ;[citado 2024 maio 10 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-27102017-075922/
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Rosa RL dos S. Microválvulas destinadas ao controle do fluxo de líquidos em canais microfluídicos [Internet]. 2017 ;[citado 2024 maio 10 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-27102017-075922/
Dissertação (Mestrado)
Equipamento versátil para teste de mini-estruturas utilizadas como mini-lab (2016)
Leite, Alisson Rodolfo; Lima, Roberto da Rocha (Orientador)
Unidade: EP
Subjects: PLASMA, ENGENHARIA QUÍMICA, SISTEMAS MICROELETROMECÂNICOS
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ABNT
LEITE, Alisson Rodolfo. Equipamento versátil para teste de mini-estruturas utilizadas como mini-lab. 2016. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2016. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-19122016-153121/. Acesso em: 10 maio 2024.
APA
Leite, A. R. (2016). Equipamento versátil para teste de mini-estruturas utilizadas como mini-lab (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-19122016-153121/
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Leite AR. Equipamento versátil para teste de mini-estruturas utilizadas como mini-lab [Internet]. 2016 ;[citado 2024 maio 10 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-19122016-153121/
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Leite AR. Equipamento versátil para teste de mini-estruturas utilizadas como mini-lab [Internet]. 2016 ;[citado 2024 maio 10 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-19122016-153121/
Tese (Doutorado)
Aplicação de autômatos celulares para simulação de processos de microfabricação (2016)
Colombo, Fábio Belotti; Páez Carreño, Marcelo Nelson (Orientador)
Unidade: EP
Subjects: AUTÔMATOS CELULARES, SIMULAÇÃO, MICROELETRÔNICA, SISTEMAS MICROELETROMECÂNICOS
A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas
ABNT
COLOMBO, Fábio Belotti. Aplicação de autômatos celulares para simulação de processos de microfabricação. 2016. Tese (Doutorado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2016. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-07032017-144709/. Acesso em: 10 maio 2024.
APA
Colombo, F. B. (2016). Aplicação de autômatos celulares para simulação de processos de microfabricação (Tese (Doutorado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-07032017-144709/
NLM
Colombo FB. Aplicação de autômatos celulares para simulação de processos de microfabricação [Internet]. 2016 ;[citado 2024 maio 10 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-07032017-144709/
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Colombo FB. Aplicação de autômatos celulares para simulação de processos de microfabricação [Internet]. 2016 ;[citado 2024 maio 10 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-07032017-144709/
Dissertação (Mestrado)
Defasador baseado em MEMS distribuídos para aplicações em ondas milimétricas (2013)
Gavidia Bovadilla, Robert Aleksander; Rehder, Gustavo Pamplona (Orientador)
Unidade: EP
Subjects: MICROELETRÔNICA, SISTEMAS MICROELETROMECÂNICOS
A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas
ABNT
GAVIDIA BOVADILLA, Robert Aleksander. Defasador baseado em MEMS distribuídos para aplicações em ondas milimétricas. 2013. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2013. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-23092014-100330/. Acesso em: 10 maio 2024.
APA
Gavidia Bovadilla, R. A. (2013). Defasador baseado em MEMS distribuídos para aplicações em ondas milimétricas (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-23092014-100330/
NLM
Gavidia Bovadilla RA. Defasador baseado em MEMS distribuídos para aplicações em ondas milimétricas [Internet]. 2013 ;[citado 2024 maio 10 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-23092014-100330/
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Gavidia Bovadilla RA. Defasador baseado em MEMS distribuídos para aplicações em ondas milimétricas [Internet]. 2013 ;[citado 2024 maio 10 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-23092014-100330/
Dissertação (Mestrado)
Desenvolvimento de um software para simulação atomística de processos de microfabricação baseado em autômatos celulares (2011)
Colombo, Fábio Belotti; Páez Carreño, Marcelo Nelson (Orientador)
Unidade: EP
Subjects: SOFTWARES (SIMULAÇÃO), PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA, AUTÔMATOS CELULARES, SISTEMAS MICROELETROMECÂNICOS
A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas
ABNT
COLOMBO, Fábio Belotti. Desenvolvimento de um software para simulação atomística de processos de microfabricação baseado em autômatos celulares. 2011. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2011. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11082011-125646/. Acesso em: 10 maio 2024.
APA
Colombo, F. B. (2011). Desenvolvimento de um software para simulação atomística de processos de microfabricação baseado em autômatos celulares (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11082011-125646/
NLM
Colombo FB. Desenvolvimento de um software para simulação atomística de processos de microfabricação baseado em autômatos celulares [Internet]. 2011 ;[citado 2024 maio 10 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11082011-125646/
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Colombo FB. Desenvolvimento de um software para simulação atomística de processos de microfabricação baseado em autômatos celulares [Internet]. 2011 ;[citado 2024 maio 10 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11082011-125646/
Dissertação (Mestrado)
Desenvolvimento de software para simulação atomística da corrosão anisotrópica do silício por autômato celular (2008)
Oliveira Júnior, José Pinto de; Paez Carreño, Marcelo Nelson (Orientador)
Unidade: EP
Subjects: SILÍCIO, AUTÔMATOS CELULARES, SISTEMAS MICROELETROMECÂNICOS
A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas
ABNT
OLIVEIRA JÚNIOR, José Pinto de. Desenvolvimento de software para simulação atomística da corrosão anisotrópica do silício por autômato celular. 2008. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2008. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-06112008-204522/. Acesso em: 10 maio 2024.
APA
Oliveira Júnior, J. P. de. (2008). Desenvolvimento de software para simulação atomística da corrosão anisotrópica do silício por autômato celular (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-06112008-204522/
NLM
Oliveira Júnior JP de. Desenvolvimento de software para simulação atomística da corrosão anisotrópica do silício por autômato celular [Internet]. 2008 ;[citado 2024 maio 10 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-06112008-204522/
Vancouver
Oliveira Júnior JP de. Desenvolvimento de software para simulação atomística da corrosão anisotrópica do silício por autômato celular [Internet]. 2008 ;[citado 2024 maio 10 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-06112008-204522/
Dissertação (Mestrado)
Estudo e caracterização de filmes de a-Si1-xCx:H obtidos por PECVD visando sua aplicação em MEMS e dispositivos ópticos (2008)
Morales Alvarado, Ary Adilson; Pereyra, Inés (Orientador)
Unidade: EP
Subjects: PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA, FILMES FINOS, SISTEMAS MICROELETROMECÂNICOS, DISPOSITIVOS ÓPTICOS
A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas
ABNT
MORALES ALVARADO, Ary Adilson. Estudo e caracterização de filmes de a-Si1-xCx:H obtidos por PECVD visando sua aplicação em MEMS e dispositivos ópticos. 2008. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2008. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11052009-170655/. Acesso em: 10 maio 2024.
APA
Morales Alvarado, A. A. (2008). Estudo e caracterização de filmes de a-Si1-xCx:H obtidos por PECVD visando sua aplicação em MEMS e dispositivos ópticos (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11052009-170655/
NLM
Morales Alvarado AA. Estudo e caracterização de filmes de a-Si1-xCx:H obtidos por PECVD visando sua aplicação em MEMS e dispositivos ópticos [Internet]. 2008 ;[citado 2024 maio 10 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11052009-170655/
Vancouver
Morales Alvarado AA. Estudo e caracterização de filmes de a-Si1-xCx:H obtidos por PECVD visando sua aplicação em MEMS e dispositivos ópticos [Internet]. 2008 ;[citado 2024 maio 10 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11052009-170655/
Dissertação (Mestrado)
Desenvolvimento de estrutura para retenção de partículas/microorganismos presentes em fase gasosa e testes em equipamento dedicado (2006)
Beraldo, Fábio Peppe; Silva, Maria Lucia Pereira da (Orientador)
Unidade: EP
Subjects: SISTEMAS MICROELETROMECÂNICOS, POLUIÇÃO AMBIENTAL (MEDIÇÃO;CONTROLE), EQUIPAMENTOS DE LABORATÓRIO QUÍMICO
A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas
ABNT
BERALDO, Fábio Peppe. Desenvolvimento de estrutura para retenção de partículas/microorganismos presentes em fase gasosa e testes em equipamento dedicado. 2006. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2006. . Acesso em: 10 maio 2024.
APA
Beraldo, F. P. (2006). Desenvolvimento de estrutura para retenção de partículas/microorganismos presentes em fase gasosa e testes em equipamento dedicado (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo.
NLM
Beraldo FP. Desenvolvimento de estrutura para retenção de partículas/microorganismos presentes em fase gasosa e testes em equipamento dedicado. 2006 ;[citado 2024 maio 10 ]
Vancouver
Beraldo FP. Desenvolvimento de estrutura para retenção de partículas/microorganismos presentes em fase gasosa e testes em equipamento dedicado. 2006 ;[citado 2024 maio 10 ]
Dissertação (Mestrado)
Microssistema transmissor de pressão piezoresistivo de 4-20mA de alta precisão (2006)
Luz, Sidney Fernandes da; Charry Rodriguez, Edgar (Orientador)
Unidade: EP
Subjects: SISTEMAS MICROELETROMECÂNICOS, PROCESSAMENTO DIGITAL DE SINAIS
A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas
ABNT
LUZ, Sidney Fernandes da. Microssistema transmissor de pressão piezoresistivo de 4-20mA de alta precisão. 2006. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2006. . Acesso em: 10 maio 2024.
APA
Luz, S. F. da. (2006). Microssistema transmissor de pressão piezoresistivo de 4-20mA de alta precisão (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo.
NLM
Luz SF da. Microssistema transmissor de pressão piezoresistivo de 4-20mA de alta precisão. 2006 ;[citado 2024 maio 10 ]
Vancouver
Luz SF da. Microssistema transmissor de pressão piezoresistivo de 4-20mA de alta precisão. 2006 ;[citado 2024 maio 10 ]
Dissertação (Mestrado)
Desenvolvimento de equipamento de teste de estruturas miniaturizadas: testes em estrutura útil na eliminação de partículas (2006)
Santos, Leandro Colevati dos; Silva, Maria Lucia Pereira da (Orientador)
Unidade: EP
Subjects: SISTEMAS MICROELETROMECÂNICOS, EQUIPAMENTOS DE LABORATÓRIO QUÍMICO
A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas
ABNT
SANTOS, Leandro Colevati dos. Desenvolvimento de equipamento de teste de estruturas miniaturizadas: testes em estrutura útil na eliminação de partículas. 2006. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2006. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-13032007-095252/. Acesso em: 10 maio 2024.
APA
Santos, L. C. dos. (2006). Desenvolvimento de equipamento de teste de estruturas miniaturizadas: testes em estrutura útil na eliminação de partículas (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-13032007-095252/
NLM
Santos LC dos. Desenvolvimento de equipamento de teste de estruturas miniaturizadas: testes em estrutura útil na eliminação de partículas [Internet]. 2006 ;[citado 2024 maio 10 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-13032007-095252/
Vancouver
Santos LC dos. Desenvolvimento de equipamento de teste de estruturas miniaturizadas: testes em estrutura útil na eliminação de partículas [Internet]. 2006 ;[citado 2024 maio 10 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-13032007-095252/
Dissertação (Mestrado)
Projeto de um sensor de pressão piezoresistivo em substrato SOI (2005)
Fraga, Mariana Amorim; Charry Rodriguez, Edgar (Orientador)
Unidade: EP
Subjects: SISTEMAS MICROELETROMECÂNICOS, MÉTODO DOS ELEMENTOS FINITOS
A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas
ABNT
FRAGA, Mariana Amorim. Projeto de um sensor de pressão piezoresistivo em substrato SOI. 2005. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2005. . Acesso em: 10 maio 2024.
APA
Fraga, M. A. (2005). Projeto de um sensor de pressão piezoresistivo em substrato SOI (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo.
NLM
Fraga MA. Projeto de um sensor de pressão piezoresistivo em substrato SOI. 2005 ;[citado 2024 maio 10 ]
Vancouver
Fraga MA. Projeto de um sensor de pressão piezoresistivo em substrato SOI. 2005 ;[citado 2024 maio 10 ]
Dissertação (Mestrado)
Fabricação e caracterização de MEMS de carbeto de silício (a-SiC:H) obtido por PECVD (2005)
Rehder, Gustavo Pamplona ; Paez Carreño, Marcelo Nelson (Orientador)
Unidade: EP
Subjects: SISTEMAS MICROELETROMECÂNICOS, PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA, FABRICAÇÃO (MICROELETRÔNICA), SEMICONDUTORES
A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas
ABNT
REHDER, Gustavo Pamplona. Fabricação e caracterização de MEMS de carbeto de silício (a-SiC:H) obtido por PECVD. 2005. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2005. Disponível em: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-18052022-142156/. Acesso em: 10 maio 2024.
APA
Rehder, G. P. (2005). Fabricação e caracterização de MEMS de carbeto de silício (a-SiC:H) obtido por PECVD (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-18052022-142156/
NLM
Rehder GP. Fabricação e caracterização de MEMS de carbeto de silício (a-SiC:H) obtido por PECVD [Internet]. 2005 ;[citado 2024 maio 10 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-18052022-142156/
Vancouver
Rehder GP. Fabricação e caracterização de MEMS de carbeto de silício (a-SiC:H) obtido por PECVD [Internet]. 2005 ;[citado 2024 maio 10 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-18052022-142156/
Tese (Doutorado)
Estudo e desenvolvimento de um microssensor de vazão de gases utilizando microfilamentos suspensos e empregando os métodos calorimétrico e do tempo de vôo térmico (2005)
Rodrigues, Roberto Jacobe; Furlan, Rogério (Orientador)
Unidade: EP
Assunto: SISTEMAS MICROELETROMECÂNICOS
A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas
ABNT
RODRIGUES, Roberto Jacobe. Estudo e desenvolvimento de um microssensor de vazão de gases utilizando microfilamentos suspensos e empregando os métodos calorimétrico e do tempo de vôo térmico. 2005. Tese (Doutorado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2005. . Acesso em: 10 maio 2024.
APA
Rodrigues, R. J. (2005). Estudo e desenvolvimento de um microssensor de vazão de gases utilizando microfilamentos suspensos e empregando os métodos calorimétrico e do tempo de vôo térmico (Tese (Doutorado). Universidade de São Paulo, São Paulo.
NLM
Rodrigues RJ. Estudo e desenvolvimento de um microssensor de vazão de gases utilizando microfilamentos suspensos e empregando os métodos calorimétrico e do tempo de vôo térmico. 2005 ;[citado 2024 maio 10 ]
Vancouver
Rodrigues RJ. Estudo e desenvolvimento de um microssensor de vazão de gases utilizando microfilamentos suspensos e empregando os métodos calorimétrico e do tempo de vôo térmico. 2005 ;[citado 2024 maio 10 ]
Tese (Doutorado)
Estratégias de projeto para interfaces de dispositivos MEMS com tecnologia CMOS (2004)
Chavez Porras, Fernando; Ramírez Fernandez, Francisco Javier (Orientador)
Unidade: EP
Subjects: SISTEMAS MICROELETROMECÂNICOS, MICROELETRÔNICA, CIRCUITOS INTEGRADOS MOS
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ABNT
CHAVEZ PORRAS, Fernando. Estratégias de projeto para interfaces de dispositivos MEMS com tecnologia CMOS. 2004. Tese (Doutorado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2004. . Acesso em: 10 maio 2024.
APA
Chavez Porras, F. (2004). Estratégias de projeto para interfaces de dispositivos MEMS com tecnologia CMOS (Tese (Doutorado). Universidade de São Paulo, São Paulo.
NLM
Chavez Porras F. Estratégias de projeto para interfaces de dispositivos MEMS com tecnologia CMOS. 2004 ;[citado 2024 maio 10 ]
Vancouver
Chavez Porras F. Estratégias de projeto para interfaces de dispositivos MEMS com tecnologia CMOS. 2004 ;[citado 2024 maio 10 ]
Tese (Doutorado)
Contribuições ao desenvolvimento de sensores e microssistemas (2003)
Peres, Henrique Estanislau Maldonado ; Ramírez Fernandez, Francisco Javier (Orientador)
Unidade: EP
Subjects: MICROELETRÔNICA, SILÍCIO, SISTEMAS MICROELETROMECÂNICOS
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ABNT
PERES, Henrique Estanislau Maldonado. Contribuições ao desenvolvimento de sensores e microssistemas. 2003. Tese (Doutorado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2003. . Acesso em: 10 maio 2024.
APA
Peres, H. E. M. (2003). Contribuições ao desenvolvimento de sensores e microssistemas (Tese (Doutorado). Universidade de São Paulo, São Paulo.
NLM
Peres HEM. Contribuições ao desenvolvimento de sensores e microssistemas. 2003 ;[citado 2024 maio 10 ]
Vancouver
Peres HEM. Contribuições ao desenvolvimento de sensores e microssistemas. 2003 ;[citado 2024 maio 10 ]

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